Контроль общей глубины карбонитрированого слоя деталей осуществляется на травлёном шлифе (раствор азотной кислоты 4% в этиловом спирте) с помощью оптического микроскопа. Шлиф должен изготавливаться из образца-свидетеля. Глубиной слоя принимается величина зоны повышенной травимости от поверхности образца до основной структуры сердцевины.
В сложных случаях, общую глубину карбонитрированого слоя деталей допускается определять по распределению микротвердости в поперечном сечении образца-свидетеля. Измерение микротвердости осуществляют на расстоянии не более 0,05 мм по трём дорожкам с помощью прибора ПМТ-3 с нагрузкой 50 г. За глубину слоя в этом случае принимают расстояние от поверхности до значений твердости, что на (30 — 50) HV превышают значение твердости сердцевины.
Примечание. При расхождении данных, при определении глубины карбонитрированого слоя указанными методами, предпочтение отдают методу измерения микротвердости.
Контроль глубины слоя соединения (e — фазы) осуществляется на травлёном шлифе с помощью оптического микроскопа. Глубиной слоя e — фазы принимают величину протяженности непротравленной зоны, полученной на поперечном шлифе.